การวัดความหนาของฟิล์มบาง โดยใช้แสงเลเซอร์ฮีเลียมนีออน

ไพรัตน์ ธรรมแสง

Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/29976

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	ภิยโย ปันยารชุน
dc.contributor.author	ไพรัตน์ ธรรมแสง
dc.contributor.other	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. บัณฑิตวิทยาลัย
dc.date.accessioned	2013-03-18T08:41:12Z
dc.date.available	2013-03-18T08:41:12Z
dc.date.issued	2533
dc.identifier.isbn	9745773832
dc.identifier.uri	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/29976
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2533	en
dc.description.abstract	ได้ทำการวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้วิธีการแทรกสอดของแสง แสงที่นำมาใช้คือแสง เลเซอร์ฮีเลียมนีออน ซึ่งเป็นแสงเอกรงค์ที่มีความเข้มสูง ในการทำการวัดได้สร้างเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบาง เครื่องมือนี้จะสามารถสังเกตรั้วของการแทรกสอดของแสง และสามารถวัดระยะระหว่าง ริ้วของแถบมืด (ρ) และระยะของริ้วของแถบมืดที่เปลี่ยนไปจากแนวเดิม (Δρ) จากนั้นสามารถคำนวณหาความหนาของฟิล์มบาง (Δh) และทำการตรวจสอบผลการวัดโดยวิธีการวัดการดูดกลืนของแสง โดยใช้โฟโตทรานซิสเตอร์เป็นตัวตรวจวัด เพื่อหาความสัมพันธ์ระหว่างความหนา h ที่ได้จากวิธีการวัดจากการแทรกสอดกับ In(I/I๐) ซึ่งได้จากการวัดการดูดกลืนของแสง การวิเคราะห์จากกราฟความสัมพันธ์ระหว่างความหนา Δh และ กับ กับ In(I/I๐) มีลักษณะเป็น เส้นตรงซึ่งสอดคล้องกับทฤษฎีการดูดกลืนแสงของฟิล์มบาง แสดงว่าเครื่องมือวัดความหนาของฟิล์มบางโดยใช้ แสงเลเซอร์สีเลียมนีออน สามารถนำไปใช้ในการวัดได้จริง
dc.description.abstractalternative	Thickness measurement of thin films using the method of light multiple beam interference has been investigated. A monochromatic and intense beam from a He-Ne laser was the source of light. Thin film thickness meter was constructed to observe and measure the distance between consecutive fringes (ρ) and fringe shifts (Δρ) from which the thickness of thin films could be evaluated. The results of the measurements were compared to those from the method of light absorption using a phototransistor as a detector The analysis of the relation between measured thickness (Δh) and In(I/I๐) indicates linearity, showing the applicability of a He-Ne laser as a tool for thickness measurements of thin films.
dc.format.extent	3924175 bytes
dc.format.extent	2619792 bytes
dc.format.extent	11273308 bytes
dc.format.extent	2717823 bytes
dc.format.extent	3151956 bytes
dc.format.extent	2547773 bytes
dc.format.extent	1066486 bytes
dc.format.extent	974595 bytes
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.language.iso	th	es
dc.publisher	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
dc.rights	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
dc.title	การวัดความหนาของฟิล์มบาง โดยใช้แสงเลเซอร์ฮีเลียมนีออน	en
dc.title.alternative	Thickness measurement of thin film by a he-ne laser	en
dc.type	Thesis	es
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต	es
dc.degree.level	ปริญญาโท	es
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์	es
dc.degree.grantor	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย	en
Appears in Collections:	Grad - Theses

Files in This Item:

File	Size	Format
Pairat_tam_front.pdf	3.83 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch1.pdf	2.56 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch2.pdf	11.01 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch3.pdf	2.65 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch4.pdf	3.08 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch5.pdf	2.49 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_ch6.pdf	1.04 MB	Adobe PDF	View/Open
Pairat_tam_back.pdf	951.75 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record