การวัความหนาของชั้นอ๊อกไซด์บนแว่นผลึกซิลิกอน

Please use this identifier to cite or link to this item: https://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/41211

Title:	การวัความหนาของชั้นอ๊อกไซด์บนแว่นผลึกซิลิกอน
Other Titles:	Thickness measurement of oxide layer on silicon substrate
Authors:	อัจฉริยะ โสโน
Advisors:	สุทิน เวทย์วัฒนะ
Other author:	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. บัณฑิตวิทยาลัย
Issue Date:	2522
Publisher:	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
Description:	วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2522
Degree Name:	วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต
Degree Level:	ปริญญาโท
Degree Discipline:	วิศวกรรมไฟฟ้า
URI:	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/41211
Type:	Thesis
Appears in Collections:	Grad - Theses

Files in This Item:

File	Size	Format
Achriya_so_front.pdf	1.46 MB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_ch0.pdf	766.9 kB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_ch1.pdf	1.88 MB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_ch2.pdf	1.38 MB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_ch3.pdf	1.61 MB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_ch4.pdf	2.13 MB	Adobe PDF	View/Open
Achriya_so_back.pdf	2.84 MB	Adobe PDF	View/Open