การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิคส์

Abstract

การศึกษาวิจัยนี้ เป็นการศึกษากรรมวิธีการผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยอะลูมินาชนิดที่มีความบริสุทธิ์สูงถึงร้อยละ 99.32 อนุภาค ส่วนใหญ่มีขนาด 2-6 ไมโครเมตร ใช้แมกนีเซีย เป็นตัวช่วยลดอุณ[ห]ภูมิในการเผา ส่วนตัวช่วยอื่น ๆ เช่น สารช่วยการกระจายลอยตัวใช้แอมโมเนียมโพลีอะคริเลท สารช่วยการยึดเกาะใช้โพลีอะคริเลท เอสเทอร์ เป็นต้น ใช้วิธีการขึ้นรูปด้วยการหล่ออะลูมินาสเลอร์รีบนแผ่นฟิลม์ หรือวิธีการที่เรียกว่าดอกเตอร์เบลด ผลจากการศึกษาทดลองสามารถผลิตชิ้นทดลองได้ขนาดหนา 0.4-1.0 มิลลิเมตร กว้าง และยาวได้ตามต้องการ ขณะที่เป็นผลิตภัณฑ์ดิบ มีความอ่อนนุ่มคล้ายแผ่นยาง สามารถม้วนเก็บในแผ่นฟิลม์ได้ ใช้อุณหภูมิในการเผาสูงสุด 1500 องศาเซลเซียส จากการศึกษาพบว่าคุณสมบัติที่ดีของผลิตภัณฑ์ นอกจากขึ้นอยู่กับอัตราส่วนการผสมและอุณหภูมิในการเผาแล้ว ยังขึ้นอยู่กับรูปร่างและขนาดของอนุภาค พื้นที่ผิว ตลอดจนความหนาแน่นของผลิตภัณฑ์ด้วย ซึ่งได้บรรจุอยู่ในกระบวนการศึกษาทดลองครั้งนี้