การขึ้นรูปและวิเคราะห์คุณลักษณะของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตร

Abstract

งานวิจัยนี้เป็นการศึกษากระบวนการขึ้นรูป และวิเคราะห์คุณลักษณะของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ ศึกษาความสามารถในการเจาะและกลึงของชิ้นงานหลังการเผาผนึกขั้นต้นที่อุณหภูมิ 1200℃ เป็นเวลา 10 ชั่วโมง ด้วยการสร้างกราฟความสัมพันธ์ของความเร็วรอบและอัตราการป้อน ซึ่งชิ้นงานซิลิคอนมีค่าแฟกเตอร์ของการเจาะและการกลึง (MRFW) ไม่เกิน 0.13 และ 2.9 ตามลำดับขึ้นอยู่กับขนาดรูเจาะและความเรียบผิว ทำการปรับเปลี่ยนอุณหภูมิการไนไตรเดชั่นเพื่อศึกษาการเกิดปฏิกิริยาที่อุณหภูมิในช่วง1350-1500℃ เป็นเวลา 14 ชั่วโมง ตรวจลอบความหนาแน่น โครงสร้างจุลภาคและสมบัติทางกลของผลิตกัณฑ์ที่ไต้จากปฏิกิริยาไนไตรเดชั่น จากผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าความหนาแน่นของชิ้นงาน RBSN อยู่ในช่วง 72-82% ความหนาแน่นทางทฤษฎี ความหนาแน่นจริงจะเพิ่มขึ้นเมื่ออุณหภูมิไนไตรเดชั่นเพิ่มขึ้น และปริมาณของซิลิคอนที่เหลือจากการทำปฏิกิริยาจะลดลงเมื่ออุณหภูมิเพิ่มขึ้น ปฏิกิริยาใกล้จะสมบูรณ์เมื่อทำการไนไตรเดชั่นที่อุณหภูมิ 1450℃ ค่าโมดูลัสของยังและความแข็งแรงต่อการตัดจะขึ้นอยู่กับเปอร์เซนต์รูพรูนทมีอยู่ในชิ้นงาน